洁净室专题:算力浪潮驱动产能扩张,CAPEX迎新一轮增长周期.pdf

1.行业概况:先进制造基础性工程,电子行业应用占比超半
洁净室属先进制造业的基础性工程,需求伴随制造业转型升级应运而生。洁净室是指将一定范围内的微污染物排除,并将室内温度、湿度、压力等要素控制在某一区间的密闭空间。按照控制对象差异,洁净室可分为:1)工业洁净室,着重于控制无生命微粒,主要应用于高精密制造业领域,洁净要求较高(IC半导体核心工艺区需保持1-5级洁净度)。2)生物洁净室,以无生命悬浮微粒和微生物等生命微粒为主要控制对象,主要适用于医院、制药、食品饮料生产等行业(洁净度约5-9级)。

洁净室建设包括洁净室系统、洁净室一次系统以及二次配三大部分。其中:洁净室系统主要包括结构系统(保证洁净室正压或负压)、通风空调系统、电气系统、消防系统、洁净室控制系统、防微震系统等;一次系统用于保障生产制程设备运行,主要包括纯水、废水、废液处理、工艺排气、特气系统等;二次配指在洁净环境下,将工艺系统从一次系统与各种工艺设备有效连结,确保各工艺设备有效运行。

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