摘要中国牢导体设备金属机械突平邮件行业技术密集度离，具有高精度及高可单性、科免多、覆蓝范围广等特点，行业受监于中国大陆品图厂扩产和下监字导体设备市场发展。市场概横不断扩大，中国设备厂南照起，*米，国政策变排和国产替奶劳将进一步推动行业发展，网时sC,boT、A等离新批术的发展也将为下油牛导体消产品带米断的烟量需求，预计2024年中国字导体设备金属机械受零部件市场规模将排味扩大。
|行业定义
半导体设备零部件是指在半导体设备制造过程中所露的零部件，并在材料、结构.工艺、品质和描度。可靠性及稳定性等方面能达到半导体设备的技术要求。|行业分类其中，半导体机械类零部件在设备中起到将建整体柜架、基础结构，品圆反应环境和实现零件特妹功能的作用，保证反应良率，延长设备使用寿命。半导体设备机械类零部件进一步细分主要包括金属件、石英件、陶瓷件等，其中，金属件占比最高，半导体设备金属机械类零部件是指反应腔、传输腔、过渡腔、内村，气盘、托盘，冷却板、底座、铸钢平台等金属类半导体机械类学部件。
按照功能用地的分类方式，半导体设备金属机械类零部件行业可以分为如下类别：
半导体设备金属机械类零部件基于功能用途的分类金属工艺件、金属结构件
合属工艺件
反应腔。传输腔，过废腔。内淋，勾气盘等，其中，腔体是半导体设备中参与品圆制备反应工序的关键部件，为品圆生产提供耐腐蚀.洁净和高真空环境内通常为薄望型金属部件，是安装在刻恢腔体内的中套型部件，保护腔体免受腐恼性工艺环境的响，降低腔体制造成本、提升腔体使用寿命。勾气盘直按参与品圆反应，特种工艺气体通过勾气匮上的小孔后均勾沉积在品圆表面，保证品圆表面模层的均勾性和一做性。
金属结构件
托盘、冷却板、底座、铸钢平台等。这些产品在性能上主要对密对性能、洁净度、机械加工精度。结构强度等有较高要求。
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