先进封装设备行业深度报告:AI等驱动先进封装加速发展,关注优质卖铲人.pdf

◆AI等驱动先进封装产业加速,HBM/CoWoS成为重要增长点。1)供给端:全球范围内,日月光、英特尔、三星、台积电等OSAT、IDM、FAB厂商龙头均积极布局先进封装,长电科技、通富微电、华天科技等OSAT龙头同样具备较强市场竞争力。此外,华为积极布局先进封装领域,有望成为先进封装产业化重要推动者
。2)需求端:AI、HPC需求放量背景下,英伟达、AMD相继推出GPU新品,HBM和CoWoS产能供给紧张,海力士、三星、台积电等扩产动力强劲,有望明显
拉动2.5D/3D封装市场需求,Yole预计2027年全球先进封装市场规模有望达到572亿美元,2021-2027年CAGR约10%,具备持续扩张潜力。
◆先进封装技术路线快速升级,不断催生新的工艺需求。1)FC封装:核心工艺变革在于新增凸块制备,涉及光刻、涂胶显影、刻蚀等传统图形化工艺,同时对电
镀铜需求度较高。2)WLP封装:为实现晶圆和凸块的电气连接,WLP封装主要新增再布线层(RDL),主要涉及光刻、涂胶显影、刻蚀、溅射沉积、电镀铜等传统制程类制备工艺。3)2.5D/3D封装:相较2D封装,硅通孔(TSV)为2.5D/3D封装核心增量技术工艺,涉及TSV刻蚀、气相薄膜沉积、电镀铜、CMP等工艺。为进一步提升器件集成度,2.5D/3D封装对于晶圆减薄技术要求明显提升,同时催生临时键合和解键合新需求,以及混合键合等高密度互联等工艺。
◆先进封装带动设备需求显著提升,国产设备加速实现进口替代。1)对于传统的后道设备,主要体现在技术迭代&升级,量价齐升趋势明显:(1)划片设备:光力科技并购ADT引领进口替代,激光渗透率有望快速提升;(2)键合设备:先进封装由wire bond变为die bond,倒装键合、晶圆键合需求快速放量,拓荆科技、芯源微等企业积极布局晶圆键合领域;(3)固晶设备:对于贴片的精度、效率提出更高技术要求,华封科技、快克智能、新益昌等加大先进封装固晶机布局,国产替代进度有望加速;(4)塑封/切筋成型设备:压塑封装工艺占比有望快速提升,文一科技和耐科装备产业化突破有望快速落地;(5)减薄设备:3D封装需求放量&堆叠层数持续增加,减薄需求大幅提升,华海清科率先实现3D IC超精密减薄产业化突破;(6)电镀设备:凸块、RDL、TSV等工艺催生新的高技术指标电镀需求,盛美上海等为国内稀有的电镀设备供应商。2)先进封装新增凸块、RDL层、TSV等图形化工艺,泛前道工艺设备需求为新增量,从订单弹性和赛道国产化率角度来看,我们认为先进封装对于光刻、涂胶显影、量/检测等赛道的拉动作用相对较大。1)光刻设备:图形化核心工艺,激光直写光刻有望对掩膜光刻实现一定程度替代,上海微电子、芯基微装等布局领先;2)涂胶显影设备:芯源微在后道已占据较高份额,下游扩产有望带动订单弹性;3)量/检测设备
:2.5D/3D封装催生大量新增量/检测需求,中科飞测在后道先进封装领域布局领先。此外,先进封装对于薄膜沉积设备、去胶机、刻蚀机、清洗机等需求同样为新增量,看好前道相关企业在先进封装领域的降维优势。
◆投资建议:A等驱动下先进封装行业加速发展,设备需求显著提升,叠加国产替代,看好相关投资机会:1)传统后道环节:键合设备受益标的拓荆科技、芯源微;减薄设备受益标的华海清科;电镀设备受益标的盛美上海;划片设备受益标的光力科技、德龙激光、大族激光等;固晶设备受益标的新益昌、快克智能等;塑封设备受益标的耐科装备、文一科技。2)泛前道工艺设备:受益标的芯源微(涂胶显影设备等)、中科飞测(量测设备)、芯碁微装(光刻机)等。
◆风险提示:先进封装产业化不及预期、封测行业景气度下滑、设备新品产业化不及预期等。◆相较晶圆制造、IC设计,中国大陆封测产业发展较为成熟,具备较
强全球竞争力。1)中观层面来看,2021年全球集成电路销售额达到4597亿美元,其中封测占比仅约为13%。对于中国大陆市场,封装测试发展较早,2004年在集成电路产业中的销售额占比高达52%,2021年下降至26%,仍明显高于全球平均水平。2)微观层面来看,长电科技、通富微电、华天科技三家封测龙头长期位居全球封测企业市占率前十名,进一步验证中国大陆封测产业的全球竞争力。

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