电子行业科创中心系列白皮书⑭-半导体工厂的电能质量解决方案.pdf

Jon Bickel在美国田纳西州富兰克林市的施耐德电气公司工作,是一位多技术背景的卓越技术专家,也是一位资深爱迪生技术专家。他是施耐德电气公司数字电源团队的成员,致力于探索和培育面向硬件、软件和云系统的新应用程序和分析功能,从而推动基于数据的功能和业务的快速发展。他在堪萨斯州曼哈顿的堪萨斯州立大学获得电气和计算机工程学士学位(1987年)和理学硕士学位(1999年),并且是阿拉巴马州的注册专业工程师。迄今为止,他已在全球范围内提交了50多项专利申请,并获得了40多项授权。

Ronald Payumo在施耐德电气公司半导体部门工作,担任全球解决方案架构师,同时也是经过认证的施耐德电气系统和架构专家(SAE)。他主要负责开发解决客户痛点的方案,开展售前活动,以及制作技术参考文档以推动相关市场的业务增长。他已经在施耐德电气公司工作了7年多,并担任过多种职务。他在安吉利斯市的圣洁天使大学获得电子与通信工程专业理学士学位(2008年)。

于方鸣施耐德电气能效管理低压事业部行业应用与创新部门,Electra能力中心系统架构师。20年中/低压配电工作经验,熟悉供配电电气系统。现负责电子厂房和医疗行业客户应用需求挖掘,系统解决方案支持,助力行业业务发展。

米丹参施耐德电气数字能效业务部高级解决方案架构师。专注于电能质量方向,近10年相关领域工作经验,对冶金、数据中心、电子厂房等行业应用及解决方案有深入的研究。不断发掘行业客户的真实需求,并结合施耐德电气从硬件、软件到云服务的计算和分析功能,实现从0-1的行业应用解决方案,推动行业业务的快速发展。

半导体制造涉及到复杂的集成电路生产和组装工艺,这些集成电路广泛用于各类电子设备,其中包括我们日常生活中使用的移动电话以及汽车。在半导体生产工厂(经常被称为“晶圆厂”)中,生产周期长,操作复杂,成品生产过程持续数周,并且需要使用昂贵的专业自动化设备。由于集成电路生产工艺灵敏度高,因而对于所有集成电路生产设备而言,电能质量问题不容忽视,其中包括短时间的电压变化,例如电压暂升暂降事件。本文解释了为什么电压暂降是半导体生产工厂所面临的一个常见电能质量问题,产生此类问题的原因,如何进行检测,以及解决电压暂降的技术方案。

二.介绍

半导体生产工艺需要使用高灵敏度的专业生产设备,并达到高精度工艺,半导体生产工艺需要电源具备很高的电能质量及可靠性。在半导体行业,电压问题(如:电压暂降、电压暂升,短时中断等)是最常见的电能质量问题。电压暂降会引起负载断电,导致生产中断,原材料报废,如果生产工厂对此没有充分的准备,其损失可能高达数百万美元。

下文分析了由电压暂降以及短时间断电导致生产中断所产生的成本损失。这些研究量化分析并记录了电能质量问题对经济效益的影响程度,以及它们对半导体行业的总体影响。第一项研究评估了马来西亚的电能质量问题,并估算了与发生电压暂降相关的损失。在商业领域,此类事件对经济效益的影响最小,每次事件的损失为24,124.00美元,在半导体行业影响则最大,每次事件的损失约为723,729.00美元。第二项研究分析了电能质量问题(尤其是电压暂降)对中国用户的影响。通过问卷调查或个人访谈的方式,分析了用来计算电压暂降造成的经济损失的方法。本研究结论表明:在工业领域,每次电压暂降事件所导致的损失变化程度

较大,其主要原因是成品的附加值不同。例如,在化学纤维行业,每次电压暂降事件导致的损失范围为29,000.00美元到172,000.00美元,而在半导体行业,其损失范围则为574,000.00美元到3,585,000.00美元。1

第三项研究给出了电压暂降事件对各行业经济影响的估算值,如下面表1所示。在所有研究中,电压暂降事件等电能质量问题对半导体行业造成的经济损失最大。2

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