机械设备：智能制造前瞻布局，把握MEMS传感器国产替代机遇.pdf

·MEMS传感器无处不在，从智能手机到汽车，从智能工厂到医疗设备，近四分之三的半导体传感器销售额来自利用MEMS技术制造的产品，MEMS器件现在已经占据全球传感器总出货量的54%。

·重视工业级高精度MEMS传感器行业国产化机遇，目前国内高精度工业级MEMS传感器主要依赖于国外进口，MEMS压力传感器主要依赖于博世、泰科电子、英飞凌等国外厂商，MEMS惯性传感器主要依赖于美新半导体、博世、ST等国外厂商。

·重视MEMS传感器在机器人领城的无限潜力，随着特斯拉确认人形机器人Optimus将于明年落地，智能机器人将具备计算机视觉、自然语言处理、动作规划和控制功能，并且拥有语音交互、行走和执行复杂任务等与物理世界互动能力，而实现一切感知的基础和核心就是传感器。

·根据同花顺传感器指数(885946.TI),成分股截至目前共有84家A股上市公司，但是缺少MEMS传感器真正行业龙头，特别是高精度MEMS传感器。国产MEMS传感器的研发，主要问题是半导体工艺的改进、市场的拓展等，随着近几年地方政府的重视，各地MEMS中试线、量产线的投入建设，将有助于建立MEMS共性基础工艺生产体系，提升传感器企业MEMS工艺研发和迭代能力，推动中国MEMS传感器产业的快速发展。

·建议关注公司：MEMS芯片-敏芯股份；ASIC芯片-纳芯微；压阻MEMS传感器国产突破-康斯特；惯性硅谐振MEMS传感器-芯动联科，以及

明镐传感、高华科技、士兰微；CMOS图像传感器-长光辰芯。

·风险提示：政策变动风险，核电安全等相关政策的变动对于行业的影响巨大；相关半导体技术等核心技术卡脖子的风险；原材料大幅波动

的风险；测算市场空间的误差风险；研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

·微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。例如，常见的MEMS产品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm,甚至更小。一个MEMS传感器里面最重要的芯片为MEMS芯片和ASIC芯片，其中MEMS芯片负责感知信号，将测量量转化为电阻、电容等信号变化；ASIC芯片负责将电容、电阻等信号转换为电信号，其中涉及到信号的转换和放大等功能。

·MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖

微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。

·常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力

传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。